Report-Investor: Linde AG - Geschäftsbericht - 2- 2009

Elektronikgase und ­anwendungen In unserer Business Area Electronics zielen die F&E-Aktivitäten auf die Emissionsreduktion von klimaschädlichen Gasen, die für die Herstellung von Elektronikbauteilen und Photovoltaik-Modu- len benötigt werden. Mit unserer Fluor-Technologie haben wir hier erfolgreich neue Wege beschritten. Dieses Verfahren ersetzt das stark klimaschädigende Schwefelhexafluorid (SF6) und Stick- stofftrifluorid (NF3) vollständig. Beide Gase werden für die Rei- nigung von Prozesskammern verwendet – eine Funktion, die durch reines Fluor (F2) nicht nur schneller und gründlicher, son- dern auch umweltschonender erfüllt werden kann. Die positi- ven Erfahrungen, die wir in den vergangenen Jahren mit unseren On-site-Fluor-Generatoren bei Kunden aus der Flachbildschirm- und Halbleiterbranche gemacht haben, haben dieser Technolo- gie im vergangenen Jahr auch in der Solarzellenherstellung zum Durchbruch verholfen. Bei der Malibu GmbH&Co. KG, einem Joint Venture von E.ON und Schüco, wurde unsere F2-Technologie zum ersten Mal für die industrielle Fertigung von innovativen Dünn- schicht-Photovoltaik-Modulen verwendet. Dank der vollständigen Umstellung von NF3 auf F2 spart Malibu, ein Entwicklungspartner von Linde, nicht nur Kosten, sondern auch das Äquivalent von mehr als 52.000 Tonnen CO2-Emissionen pro Jahr. Diese Technologie, die ohne große Änderungen auch auf bestehende Produktionsanlagen übertragen werden kann, ist ein wesentliches Alleinstellungsmerkmal von Linde Electronics. Ähnlich wie die Solarzellenhersteller mussten auch die meis- ten Halbleiterproduzenten ihren Output zu Beginn des vergange- nen Jahres nach unten korrigieren. Gleichzeitig wird in der Bran- che an der nächsten Technologiegeneration von Elektronikchips mit einer Strukturgröße (siehe Glossar) von nur noch 32 Nano- metern gearbeitet (ein Nanometer entspricht einem Milliards- tel Meter). Wir unterstützen diesen Technologiesprung mit inno- vativen Gaselösungen – zum Beispiel durch drucklos gelieferte Dotiergase (siehe Glossar), die seit 2009 unter der Bezeichnung Genii™ vermarktet werden. Bei der Dotierung wird durch das Einbringen von Ionen in eine Halbleiterschicht deren Leitfähig- keit gezielt verändert. Der Umgang mit den dabei verwendeten hoch toxischen Spezialgasen erfordert besondere Sicherheits- vorkehrungen. Zwei neu entwickelte Linde-Technologien verrin- gern das Handhabungsrisiko für Halbleiterproduzenten erheblich. Bei drucklosen Gasversorgungssystemen werden die Dotiergase entweder in ionischen Flüssigkeiten gelagert oder vor Ort elek- trochemisch erzeugt. In der Elektronikindustrie werden zunehmend seltene Ele- mente wie Titan, Hafnium, Zirkonium und Tantal anstelle von Silizium für bestimmte Schichten im Mikrochip verwendet, um immer kleinere Speicherstrukturen bzw. höhere Leistungsdichten zu erzielen. Linde bietet unter dem Namen LEAP™ (Linde Elec- tronics Advanced Precursors) eine Palette neuartiger reaktiver Gase, so genannter metallorganischer Verbindungen, an, die zur Abscheidung von atomaren bzw. sehr dünnen Schichten mit spe- zifischen elektrischen Eigenschaften verwendet werden. Außerdem hat Linde Electronics im vergangenen Geschäfts- jahr in Changdian, China, ein Forschungs- und Entwicklungszen- trum eröffnet, das sich speziell dem Thema Packaging widmet, also der Montage mehrschichtiger Schaltkreise. Ziel der dorti- gen Aktivitäten ist die Entwicklung von Gasemischungen und Anwendungslösungen für die Industrialisierung fortschrittlicher Technologien in Zusammenhang mit 3-D-Packaging. Engineering Division In seiner Engineering Division hat Linde im Berichtszeitraum ins- gesamt 23 Mio. EUR (Vj. 31 Mio. EUR) für F&E-Aktivitäten aufge- wendet. Der Schwerpunkt lag – wie in den Vorjahren – auf der Weiter- und Neuentwicklung von Technologien in den vier Pro- duktlinien Erdgas-, Luftzerlegungs-, Olefin- sowie Wasserstoff- und Synthesegas-Anlagen. Bei allen neuen Verfahren hat die Energie- effizienz und Umweltverträglichkeit höchste Priorität. Die Entwick- lungsarbeit in den einzelnen Anlagensparten wird von einer zen- tralen F&E-Abteilung unterstützt. Die eigene Leistungsfähigkeit messen wir dabei kontinuierlich durch so genannte Key Perfor- mance Indicators (KPIs). Diese Kennziffern beziehen sich auf die Kriterien Wettbewerbsfähigkeit, Ressourcennutzung, Kooperati- onsfähigkeit, Außen- und Innenkontakte, Innovationskraft sowie Qualität, Sicherheit und Umweltschutz. Im Berichtsjahr haben wir diese Faktoren um einen Indikator für umweltschonende Verfah- renstechnologien ergänzt. Alle Gesellschaften der Engineering Division verfügen über ein eigenes Vorschlagswesen, das herausragende Ideen mit Prä- mien honoriert. Eine zentrale Patentabteilung sorgt dafür, dass die Rechte an innovativen technischen Lösungen frühzeitig für Linde gesichert werden. Auch im vergangenen Geschäftsjahr haben wir die Entwick- lung neuer Technologien zur Minderung von umwelt- und klima- schädlichen Emissionen weiter vorangetrieben. Im Energiesek- tor standen dabei die so genannten Clean Coal-Aktivitäten (siehe Glossar) im Blickpunkt. So ist im August 2009 die Pilotanlage zur CO2-Rauchgasreinigung („Post Combustion Capture“) am Kraft- werk der RWE Power AG in Niederaußem eingeweiht worden. Bei diesem Verfahren wird das Kohlendioxid von konventionel- len, kohlegefeuerten Kraftwerken nach der Entschwefelung des Rauchgases mit einer Waschflüssigkeit abgetrennt. Ein neues Waschverfahren, das RWE, BASF und Linde gemeinsam entwi- ckelt haben, wird in Niederaußem unter realen Bedingungen getestet. So sammeln die beteiligten Unternehmen Erfahrungen für spätere Großanlagen, mit denen moderne Kohlen- oder Gas- kraftwerke nach 2020 nachgerüstet werden können. Darüber hinaus haben wir im Rahmen der Technologiepart- nerschaft mit der Vattenfall Europe Technology Research GmbH, 070 Linde Finanzbericht 2009 KONZERNLAGEBERICHT – Forschung und Entwicklung WEITEREANGABENKONZERNANHANGKONZERNABSCHLUSSKonzernlAGeberiCHtDIEAKTIECORPORATEGOVERNANCEDERAUFSICHTSRATDERVORSTAND